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以白光干涉掃描技術為基礎的3d輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。

中圖儀器研發生產的光學3d輪廓儀檢測儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

中圖儀器研發生產的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

SuperView W1三維輪廓測量儀基于白光干涉原理，不僅用于零件的檢測，還是一種在生產中用于檢測軋制產品表面缺陷的設備，能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SuperView W1系列三維表面形貌儀是以白光干涉技術為原理，獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優點，適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。

SJ5760表面輪廓測量儀是專門用來檢測經機械加工后工件的表面粗糙度、表面輪廓的機電一體化精密測量儀器，能夠滿足軸承行業所有的測量需求，具備軸承輪廓度評價功能，是大曲面測量領域精細粗糙度測量的利器。