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PLR3000高精準(zhǔn)度激光尺測量儀支持單軸至多軸測量。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時其熱源隔離設(shè)計，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點。分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

GTS位置坐標(biāo)激光跟蹤儀測量儀是建立在激光和自動控制技術(shù)基礎(chǔ)上的一種高精度三維測量系統(tǒng)，主要用于大尺寸空間坐標(biāo)測量領(lǐng)域。它集中了激光干涉測距、角度測量等技術(shù)，基于球坐標(biāo)法測量原理，通過測角、測距實現(xiàn)三維坐標(biāo)的精密測量。

中圖儀器GTS激光動態(tài)跟蹤測量儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場測量等優(yōu)點，取代了大型固定式三坐標(biāo)測量機(jī)、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測量設(shè)備，在設(shè)備校準(zhǔn)、部件檢測、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測量的主要手段。

GTS系列6D姿態(tài)探頭激光跟蹤儀已經(jīng)發(fā)展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標(biāo)測頭配合使用。能對大尺度空間內(nèi)的點、線、面、曲面等幾何特征進(jìn)行精確測量；能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對被測工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測量。

SJ6000精密激光干涉機(jī)床測量儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

GTS六自由度空間坐標(biāo)激光跟蹤測量儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場測量等優(yōu)點，取代了大型固定式三坐標(biāo)測量機(jī)、經(jīng)緯儀、全站儀等許多傳統(tǒng)測量設(shè)備，在設(shè)備校準(zhǔn)、部件檢測、工裝制造與調(diào)試、集成裝配和逆向工程等應(yīng)用領(lǐng)域顯示出高測量精度和效率。