SJ6000激光干涉儀中圖儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件的配合下，激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2、功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

3、軟件強(qiáng)

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

4、標(biāo)準(zhǔn)多

SJ6000激光干涉儀中圖儀器內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

激光干涉儀測(cè)量機(jī)床直角

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡。

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

數(shù)控機(jī)床機(jī)械誤差補(bǔ)償包含記憶式相對(duì)位置補(bǔ)償（jue對(duì)值）與記憶式螺距誤差補(bǔ)償（增量值）兩種，三菱和法那科系統(tǒng)就是增量值補(bǔ)償?shù)拇碇弧．?dāng)采用激光干涉儀進(jìn)行增量值補(bǔ)償時(shí)，會(huì)遇到數(shù)據(jù)怎么對(duì)應(yīng)補(bǔ)償點(diǎn)位置的問(wèn)題。

增量值補(bǔ)償時(shí)有幾個(gè)重要參數(shù)：

參考點(diǎn)：參考點(diǎn)也就是基準(zhǔn)點(diǎn)。

zui負(fù)端：設(shè)定zui靠近負(fù)端的補(bǔ)償數(shù)據(jù)編號(hào)。

zui正端：設(shè)定zui靠近正端的補(bǔ)償數(shù)據(jù)編號(hào)。

補(bǔ)償倍率：寫入機(jī)床系統(tǒng)補(bǔ)償量的生效倍率。

補(bǔ)償間隔：機(jī)床補(bǔ)償校準(zhǔn)時(shí)的補(bǔ)償間距。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。