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SuperViewW系列3D光學(xué)輪廓儀檢測(cè)儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復(fù)性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復(fù)性，連續(xù)10次測(cè)量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。

SuperViewW光學(xué)表面輪廓儀系統(tǒng)以0.1nm級(jí)分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，一體化高精度測(cè)量粗糙度與輪廓度。

中圖儀器SuperViewW白光粗糙度輪廓儀基于白光干涉核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)粗糙度與輪廓度一體化高精度測(cè)量，以全場(chǎng)景適配、高效自動(dòng)化優(yōu)勢(shì)，成為B端企業(yè)降本增效的核心檢測(cè)裝備。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)微觀幾何輪廓測(cè)量?jī)x具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW非接觸式光學(xué)三維輪廓儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

?中圖3維形貌輪廓儀可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。